Planartechnik

Bonden, Chip, Dotieren durch Diffusion, Einkristall-Silicium-Scheiben, Filmlithografie, Fotoschablone, Halbleitertechnologie, Maskentechnik, Planartechnik, Wafer, Zonenschmelzverfahren

Die Planartechnik ist eine Form der Halbleitertechnologie und hat gegenwärtig die größte Bedeutung für die Fertigung von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltkreisen. Ausgangspunkt sind meist Einkristall-Silicium-Scheiben (Wafer), auf denen mithilfe der Maskentechnik in Verbindung mit der Fotolithografie Bauelemente und Verbindungen aufgebracht werden.